洁净车间的温度及湿度检测方法
洁净车间温湿度检测所用仪表有小量程温度自动记录仪,水银温度计,氯化锂湿度计,通风干、湿球温度计。应根据温度及相对湿度波动范围,选择相应精度的仪表进行测定。所选仪表须经过校验标定合格。
1、检测方法
1)测点应布置在恒温工作区具有代表性的地点。
2)若没有恒温要求,可在洁净室中心布点。
3)测点距外墙表面一般应大于0.5m,距地面0.8m。也可以根据恒温区的大小,分别布置在距地面不同高度的几个平面上。
4)根据温、湿度波动范围的要求,检测宜连续进行8-48h,每次读数间隔不应大于30min。
5)对有温、湿度波动要求的区域,测点应布置在送、回风口处或具有代表性的地点。
6)测点数量及仪器按下表确定。
温湿度测点数及测定仪器表
波动范围
测定仪器
测点数量
△t<±0.5℃
用小量程温度自动记录仪或0.01℃刻度的水银温度计
测点间距为0.5-2.0m,每个房间测点不应少于20个,测点距墙大于0.5m,单向流洁室大于0.2m
△RH<±5%
用氯化锂湿度计
±0.5℃△t±2℃
用0.1℃刻度水银温度计
面积≤50㎡,测点5个;>50㎡时,每增加20-50㎡,增加3-5个测点
±5℃△t±10%
用0.2℃刻度的通风干湿球温度计
△t>±2℃
用0.2℃刻度水银温度
洁净室面积≤50㎡时,测1点; >50㎡时,每增加50㎡,增加1个测点
△RH>±10%
用通风干湿球温度计
2、合格标准
室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制温度的最大值整理成累计统计曲线。若90%以上测点偏差值在室温控制范围内,为符合设计要求,反之为不符合。
相对湿度波动范围可按室温波动范围的规定执行。
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